题名	责任者	出版社	索书号
微纳尺度制造工程	(美) 斯蒂芬 A. 坎贝尔著	电子工业出版社	TN405/2090
芯片制造:半导体工艺制程实用教程:a practical guide to semiconductor processing	(美) Peter Van Zant著	电子工业出版社	TN405/9015