题名	责任者	出版社	索书号
芯片制造:半导体工艺制程实用教程:a practical guide to semiconductor processing	(美) Peter Van Zant著	电子工业出版社	TN405/9015
微电子工艺基础	李薇薇, 王胜利, 刘玉岭编著	化学工业出版社	TN405/4044