题名	责任者	出版社	索书号
微纳尺度制造工程	(美) 斯蒂芬 A. 坎贝尔著	电子工业出版社	TN405/2090
微电子工艺基础	李薇薇, 王胜利, 刘玉岭编著	化学工业出版社	TN405/4044