MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：71
- 题名/责任者:
- 薄膜物理与技术/杨邦朝, 王文生编著
- 出版发行项:
- 成都:电子科技大学出版社,1994
- ISBN及定价:
- 7-81016-749-9/CNY7.50
- 载体形态项:
- 237页;26cm
- 个人责任者:
- 杨邦朝 编著
- 个人责任者:
- 王文生 编著
- 学科主题:
- 薄膜物理学-高等学校-教材
- 中图法分类号:
- O484
- 一般附注:
- 高等学校教材
- 责任者附注:
- 杨邦朝,电子科技大学任教 ; 王文生,天津大学任教
- 书目附注:
- 有书目 (第237页)
- 提要文摘附注:
- 本书主要论述了薄膜的制造技术与薄膜物理的基本内容,包括:各种成膜技术的基本原理与方法、化学气相沉积、膜厚的测量与监控等。
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密集书库四
10楼南第167捆