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题名/责任者:

CMOS MEMS技术与应用/(美) O. Brand, G. K. Fedder著 黄庆安, 秦明译

出版发行项:

南京:东南大学出版社,2007

ISBN及定价:

978-7-5641-0784-0/CNY78.00

载体形态项:

500页:图;24cm

统一题名:

CMOS-MEMS

丛编项:

微纳系统系列译丛

个人责任者:

布兰德 (Brand, Oliver) 著

个人责任者:

费德 (Fedder, Gary K.) 著

个人次要责任者:

黄庆安 译

个人次要责任者:

秦明 译

学科主题:

互补MOS集成电路-微电机-电路设计

中图法分类号:

TN432

版本附注:

据Wiley-VCH 2005年英文版译出

相关题名附注:

英文题名取自封面

责任者附注:

责任者 (Brand) 规范汉译姓: 布兰德; 责任者 (Fedder) 规范汉译姓: 费德.

书目附注:

有书目

提要文摘附注:

本书主要介绍了制造工艺、材料表征、单片集成惯性传感器、CMOS MEMS声学器件、CMOS RF MEMS、CMOS压力传感器、CMOS化学传感器等。

使用对象附注:

适合微电子技术、微机电系统技术等相关领域的高年级本科生.

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