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题名/责任者:

Microsensors, MEMS, and smart devices / Julian W. Gardner, Vijay K. Varadan, Osama O. Awadelkarim.

出版发行项:

Beijing : Tsinghua University Press, 2004.

ISBN:

7302081220

载体形态项:

xvi, 503 p. : ill. ; 23 cm.

变异题名:

微传感器，微机电系统和灵巧器件

丛编题名:

国际知名大学原版教材. 信息技术学科与电气工程学科系列 ; 31

个人责任者:

Gardner, J. W. (Julian W.), 1958-

附加个人名称:

Varadan, V. K., 1943-

附加个人名称:

Awadelkarim, Osama O.

论题主题:

Microelectromechanical systems.

论题主题:

Detectors.

论题主题:

Intelligent control systems.

中图法分类号:

TP212

书目附注:

Includes bibliographical references and index.

原版附注:

Reprint. Originally published: Chichester : J. Wiley, c2001. 047186109X.

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