MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：100
- 题名/责任者:
- 微机电系统基础/(美) Chang Liu著 黄庆安译
- 出版发行项:
- 北京:机械工业出版社,2013
- ISBN及定价:
- 978-7-111-40657-0/CNY69.00
- 载体形态项:
- 397页:图;26cm
- 统一题名:
- Foundations of MEMS
- 丛编项:
- 国外电子电气经典教材系列
- 个人责任者:
- 刘昶 (Liu, Chang) 著
- 个人次要责任者:
- 黄庆安 译
- 学科主题:
- 微电机-教材
- 中图法分类号:
- TM38
- 版本附注:
- 据2012年英文版第2版译出
- 出版发行附注:
- 由Pearson Education授权机械工业出版社出版发行
- 责任者附注:
- 编目员自译责任者 (Liu, Chang) 汉译姓: 刘昶
- 书目附注:
- 有书目
- 提要文摘附注:
- 本书全面论述了微机电系统(MEMS)的基础知识，涵盖了MEMS技术的主要方面，同时引用了经典的MEMS研究论文和前沿的研究论文，为学生深入学习MEMS技术提供了指引。书中提炼出了四个典型的传感器实例：惯性传感器、压力传感器、流量传感器和触觉传感器，并介绍了利用不同原理、材料和工艺制造这些传感器的方法，既便于比较，又可以启发学生的创新意识并提高创新能力。
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