MARC状态:审校 文献类型:中文图书 浏览次数:81
- 题名/责任者:
- 微机电耦合动力学/许立忠, 孙丽波著
- 出版发行项:
- 北京:国防工业出版社,2015
- ISBN及定价:
- 978-7-118-10053-2/CNY98.00
- 载体形态项:
- XX, 303页, 32页图版:图 (部分彩图);24cm
- 并列正题名:
- Coupled dynamics of MEMS
- 丛编项:
- 微米纳米技术丛书.MEMS与微系统系列
- 个人责任者:
- 许立忠 著
- 个人责任者:
- 孙丽波 著
- 学科主题:
- 微电子技术
- 中图法分类号:
- TN4
- 中图法分类号:
- TM
- 一般附注:
- 国防科技图书出版基金 “十二五”国家重点图书出版规划项目
- 书目附注:
- 有书目 (第300-303页)
- 提要文摘附注:
- 本书主要包括:绪论,微梁机电耦合振动,微梁机电耦合非线性动力学,微梁机电流体耦合自由振动,微梁机电流体耦合受迫振动等内容。
- 使用对象附注:
- 可供高等院校微电子、机电一体化等专业的师生阅读,也可作为从事微机电系统工程设计开发的研究生和科研技术人员参考
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