MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：88
- 题名/责任者:
- MEMS技术及应用/蒋庄德等著
- 出版发行项:
- 北京:高等教育出版社,2018
- ISBN及定价:
- 978-7-04-050478-1 精装/CNY69.00
- 载体形态项:
- 318页:图, 肖像;26cm
- 丛编项:
- 先进制造科学与技术丛书
- 丛编项:
- 机械工程前沿著作系列
- 个人责任者:
- 蒋庄德 著
- 学科主题:
- 微电机-高等学校-教材
- 中图法分类号:
- TM38
- 一般附注:
- 高等学校教材
- 书目附注:
- 有书目
- 提要文摘附注:
- 本书内容包括MEMS导论、MEMS结构、MEMS材料、MEMS工艺、MEMS设计、MEMS测量、MEMS应用，以及纳机电系统(NEMS)和石墨烯，阐述了微机电系统的主流技术、典型应用和研究热点。
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