MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：80
- 题名/责任者:
- 射频微机电系统的理论、设计、制备及应用/张海霞, 缪旻, 方东明著
- 出版发行项:
- 北京:科学出版社,2014
- ISBN及定价:
- 978-7-03-038996-1 精装/CNY135.00
- 载体形态项:
- 416页:图;25cm
- 丛编项:
- 微纳制造的基础研究学术著作丛书
- 个人责任者:
- 张海霞 著
- 个人责任者:
- 缪旻 著
- 个人责任者:
- 方东明 著
- 学科主题:
- 微电子技术-射频系统-研究
- 中图法分类号:
- TN4
- 书目附注:
- 有书目和索引
- 提要文摘附注:
- 本书系统地论述了微机电系统中射频元器件的物理模型、等效电路、性能表征和实验结果，并详细论述了射频微机电系统元器件结构设计和制备方法。本书聚集在射频微机电系统元器件的设计、加工和测试，创新内容较多。
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