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题名/责任者:

精密纳米计量学:用于纳米制造的传感器和测量系统/(日) Wei Gao著 李雷 ... 等译

出版发行项:

北京:国防工业出版社,2022

ISBN及定价:

978-7-118-12466-8 精装/CNY98.00

载体形态项:

11, 243页:图;25cm

统一题名:

Precision nanometrology : sensors and measuring systems for nanomanufacturing

其它题名:

用于纳米制造的传感器和测量系统

丛编项:

军事计量科技译丛

个人责任者:

高伟 著

个人次要责任者:

李雷 译

个人次要责任者:

赵昭 译

个人次要责任者:

张慧 译

学科主题:

纳米技术-应用-计量学-研究

中图法分类号:

TB9

一般附注:

装备科技译著出版基金

题名责任附注:

题名页其余译者: 赵昭, 张慧, 王文娟等

出版发行附注:

由Springer出版社授权出版

责任者附注:

著者汉译姓取自版权页: 高伟

书目附注:

有书目

提要文摘附注:

本书介绍了精密纳米计量学的相关知识, 重点讲述了精密纳米制造中测量角度和位移的光学传感器, 提出了改善传感器灵敏度和带宽, 减小传感器尺寸的技术, 并开发了新的多轴传感方法 ; 同时, 介绍了精密纳米计量中用于表面形状和平台运动的扫描型测量系统, 阐述了纳米制造中最基本的几何形状的测量误差分离算法和系统 ; 最后对微观非球面的测量, 纳米制造中微纳结构的精密纳米计量, 以及长结构的微观尺寸的快速、准确测量等进行了介绍。

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