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题名/责任者:

微米纳米器件设计/黄庆安, 周再发, 宋竞著

出版发行项:

北京:国防工业出版社,2014

ISBN及定价:

978-7-118-09784-9/CNY118.00

载体形态项:

xix, 358页, [16] 页图版:图 (部分彩图);24cm

并列正题名:

Design of micro/nano deviceseng

丛编项:

微米纳米技术丛书.MEMS与微系统系列

个人责任者:

黄庆安 著

个人责任者:

周再发 著

个人责任者:

宋竞 著

学科主题:

纳米材料-微电子技术-电子器件

中图法分类号:

TN4

一般附注:

国防科技图书出版基金 “十二五”国家重点图书出版规划项目

书目附注:

有书目

提要文摘附注:

本书主要介绍MEMS器件、系统和工艺的模型、模拟以及设计方法。内容包括：MEMS设计框架、MEMS器件级模型与模拟、MEMS器件宏模型与系统级设计、MEMS工艺级模型与模拟和MEMS设计基础。

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