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题名/责任者:

MEMS材料与工艺手册/(美) 利萨·格迪斯, 林斌彦著 黄庆安等译

出版发行项:

南京:东南大学出版社,2014

ISBN及定价:

978-7-5641-4053-3/CNY198.00

载体形态项:

14, 966页:图;24cm

统一题名:

MEMS materials and processes handbook

丛编项:

微纳系统系列译丛

个人责任者:

格迪斯 (Ghodssi, Reza) 著

个人责任者:

林斌彦 (Lin, Pinyen) 著

个人次要责任者:

黄庆安 译

学科主题:

微电子技术-电子材料

学科主题:

微电子技术-生产工艺

中图法分类号:

TN4

书目附注:

有书目

提要文摘附注:

微机电系统（MEMS）技术是一个快速发展的前沿技术领域，使用的材料种类多、工艺方法复杂，需要系统地归纳、分析与整理，以便于读者查阅。本书内容包括MEMS材料，MEMS加工工艺和制造工艺等。

使用对象附注:

适用于电子技术人员及相关读者。

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