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题名/责任者:

MEMS可靠性/(日) O. Tabata, T. Tsuchiya著 宋竞 ... [等] 译

出版发行项:

南京:东南大学出版社,2009

ISBN及定价:

978-7-5641-1575-3/CNY50.00

载体形态项:

247页:图;24cm

统一题名:

Reliability of MEMS

丛编项:

微纳系统系列译丛

个人责任者:

田畑修 (Tabata, O.) 著

个人责任者:

土屋智由 (Tsuchiya, T.) 著

个人次要责任者:

宋竞 译

个人次要责任者:

尚金堂 译

个人次要责任者:

唐洁影 译

学科主题:

微机电-可靠性

中图法分类号:

TM38

题名责任附注:

题名页题: 宋竞, 尚金堂, 唐洁影, 黄庆安译.

出版发行附注:

本书中文简体字翻译版由WILEY-VCH授权东南大学出版社独家出版发行

责任者附注:

责任者 (O. Tabata) 规范汉译名: 田畑修; 责任者 (T. Tsuchiya) 规范汉译名: 土屋智由.

书目附注:

有书目

提要文摘附注:

本书共分为两部分。第一部分论述MEMS材料的可靠性内容及主要表征方法, 包括MEMS材料的可靠性, 微纳压痕仪等; 第二部分论述MEMS器件的可靠性。

使用对象附注:

适合于微机电系统、微电子、光电子、传感器、通讯技术领域的高年级大学生、研究生和工程技术人员参考

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