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题名/责任者:

微光机电系统/(日) 泽田廉士, 羽根一博, 日暮荣治著 李元燮译

出版发行项:

北京:科学出版社,2005

ISBN及定价:

7-03-013313-7/CNY38.00

载体形态项:

viii, 347页:图;24cm

并列正题名:

Optical MEMS / MOEMS

并列正题名:

光ムイクロムツソ

个人责任者:

泽田廉士 著

个人责任者:

羽根一博 著

个人责任者:

日暮荣治 著

个人次要责任者:

李元燮 译

学科主题:

光电子技术-机电一体化-研究

学科主题:

微电子技术-机电一体化-研究

中图法分类号:

TN2

中图法分类号:

TH-39

出版发行附注:

本书实际出版年是2004年

书目附注:

有书目 (第329-333页) 和索引

提要文摘附注:

本书共由三篇构成。第1篇重点介绍微光机电系统在各领域中的应用, 即光开关、反射镜阵列、衰减器、显示器、扫描仪、分光计、波长可变光学元件、执行器、可动结构体、传感与传感器等; 第2篇是微光机电系统光学, 主要介绍微光机电系统中应用的光学原理, 即光的反射及折射、干涉、衍射、自由空间光学、光辐射压、近场光学等; 第3篇主要介绍材料、制造、封装等。

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