MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：96
- 题名/责任者:
- 扫描电镜和能谱仪的原理与实用分析技术/施明哲编著
- 版本说明:
- 第2版
- 出版发行项:
- 北京:电子工业出版社,2022
- ISBN及定价:
- 978-7-121-42877-7/CNY188.00
- 载体形态项:
- xvi, 480页:图;24cm
- 丛编项:
- 可靠性技术丛书
- 个人责任者:
- 施明哲 编著
- 学科主题:
- 扫描电子显微镜
- 学科主题:
- 能谱仪
- 中图法分类号:
- TN16
- 中图法分类号:
- TH842
- 书目附注:
- 有书目
- 提要文摘附注:
- 本书包括上、下两篇和一些相关的附录。上篇包括第1-9章，主要论述了扫描电镜的原理、结构、操作要点和应用中几种常见的图像质量问题，以及改善图像质量的应对方法和措施，列举了多种电子元器件在电应力和环境应力作用下的一些失效案例，介绍了扫描电镜常用的几种维护保养方式、方法。下篇包括第10-18章，主要介绍了能谱仪的原理、数据采集和处理及具体的应用技术，包括Si(Li)与SDD新旧两种能谱仪探测器芯片的结构和基本原理，以及能谱仪在定性、定量分析中常遇到的棘手问题及相应的处理方法，还介绍了罗兰圆波谱仪和平行光波谱仪的原理及各自的特点等。
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