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- 题名/责任者:
- 等离子体诊断.第一卷.放电参量和化学/(美) Orlando Auciello, Flamm编著 郑少白等译
- 出版发行项:
- 北京:电子工业出版社,1994
- ISBN及定价:
- 7-5053-2174-9/CNY25.00
- 载体形态项:
- 468页;20cm
- 丛编项:
- 等离子体-材料相互作用系列丛书
- 个人责任者:
- 奥切洛 (Auciello, Orlando), 1945- 编著
- 个人责任者:
- 弗拉姆 (Flamm, Daniel. L.) 编著
- 个人次要责任者:
- 郑少白 译
- 学科主题:
- 等离子体诊断
- 中图法分类号:
- O536
- 中图法分类号:
- O53
- 责任者附注:
- 责任者 (Auciello) 规范汉译姓: 奥切洛 ; 责任者 (Flamm) 规范汉译姓: 弗拉姆.
- 书目附注:
- 有书目
- 提要文摘附注:
- 本卷着重于等离子体工艺中的各种诊断技术介绍,包括:放电光源中的等离子诊断、等离子体质谱学、微波诊断等7章。
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