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题名/责任者:

微纳米技术及其应用/李德胜 ... [等] 编著

出版发行项:

北京:科学出版社,2005

ISBN及定价:

7-03-015288-3 精装/CNY48.00

载体形态项:

x, 285页:图;25cm

个人责任者:

李德胜, 1962- 编著

个人责任者:

关佳亮 编著

个人责任者:

石照耀 编著

学科主题:

纳米材料-新技术应用

中图法分类号:

TB383

一般附注:

863计划MEMS重大专项资助课题; 北京市自然科学基金委员会资助出版, 北京工业大学“211工程”资助出版.

责任者附注:

题名页题: 李德胜, 关佳亮, 石照耀, 张建辉编著.

书目附注:

有书目 (第284-285页)

提要文摘附注:

本书在概述了微机电系统技术的发展背景、现状及其应用前景的基础上，论述了MEMS基本理论基础，并对MEMS相关工艺做了详细的介绍。

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