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MARC状态:已编 文献类型:中文图书 浏览次数:50

题名/责任者:
微系统设计与制造/王喆垚编著
出版发行项:
北京:清华大学出版社,2008
ISBN及定价:
978-7-302-15196-8/CNY59.00
载体形态项:
XV, 648页:图;26cm
并列正题名:
Microsystem design and fabrication
丛编项:
普通高等教育“十一五”国家级规划教材
丛编项:
清华大学信息科学技术学院教材.微电子光电子系列
个人责任者:
王喆垚 编著
学科主题:
微电子技术-高等学校-教材
中图法分类号:
TN4
书目附注:
有书目
提要文摘附注:
本书讲述了微系统基本力学,微系统制造技术,微型传感器,微型执行器,射频微系统,光学微系统,生物医学微系统,流体与芯片实验室等内容。
全部MARC细节信息>>
索书号 条码号 年卷期 馆藏地 书刊状态 定位
TN4/1044 1566175   9楼南电信软件工程借阅室     可借 定位
TN4/1044 1566176   9楼南电信软件工程借阅室     可借 定位
TN4/1044 1566174   理科综合阅览室     保留本 定位
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