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MARC状态:已编 文献类型:中文图书 浏览次数:67

题名/责任者:
半导体薄膜技术与物理/叶志镇 ... [等] 编著
出版发行项:
杭州:浙江大学出版社,2008
ISBN及定价:
978-7-308-06617-4/CNY36.00
载体形态项:
278页:图, 肖像;24cm
并列正题名:
Physics and technology of semiconductor thin films
个人责任者:
叶志镇, 1955- 编著
个人责任者:
吕建国 编著
个人责任者:
吕斌 编著
学科主题:
半导体薄膜技术
中图法分类号:
TN304.055
题名责任附注:
题名页题: 叶志镇, 吕建国, 吕斌, 张银珠编著.
书目附注:
有书目
提要文摘附注:
本书全面系统地介绍了半导体薄膜的各种制备技术及其相关的物理基础。全书共分十章。第一章概述了真空技术,第二至八章分别介绍了蒸发、化学气相沉积、液相外延等。
使用对象附注:
高等院校材料、物理、电子、化学等学科的研究生或高年级本科生的半导体薄膜技术课程的教材
全部MARC细节信息>>
索书号 条码号 年卷期 馆藏地 书刊状态 还书位置 定位
TN304.055/6448 1652440   9楼南电信软件工程借阅室     可借 定位 借还中心(服务台)
TN304.055/6448 1652441   9楼南电信软件工程借阅室     可借 定位 借还中心(服务台)
TN304.055/6448 1652439   理科综合阅览室     保留本 定位
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