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题名/责任者:

微纳米制造技术及应用/张德远 ... 等编著

出版发行项:

北京:科学出版社,2015

ISBN及定价:

978-7-03-045751-6/CNY98.00

载体形态项:

252页:图;24cm

丛编项:

21世纪先进制造技术丛书

个人责任者:

张德远 编著

学科主题:

纳米技术

中图法分类号:

TB383

一般附注:

“十二五”国家重点图书出版规划项目

书目附注:

有书目

提要文摘附注:

微纳米制造技术广泛应用于大规模集成电路、微机械结构、微机电系统、传感器、驱动器、功能材料与涂层等，涉及电子、机械、光学、物理、化学、材料、生物等多种学科，是制造技术的融合交叉新领域。本书共分7章，内容涵盖了微机械加工、表面成膜、半导体加工、纳米制造和生物制造等，全面地讲述了微纳米加工的各种方法，每种工艺都按照由原理、工艺过程到应用特点的顺序论述，逻辑严谨、脉络清晰。

使用对象附注:

本书适合机械工程、仪器科学、微电子、微机电系统等专业的本科生及研究生，相关行业的科技工作者与工程技术人员参考阅读。

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