MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：112
- 题名/责任者:
- 原子层沉积技术:原理及其应用/李爱东编著
- 出版发行项:
- 北京:科学出版社,2016
- ISBN及定价:
- 978-7-03-048375-1/CNY98.00
- 载体形态项:
- 381页:图;24cm
- 其它题名:
- 原理及其应用
- 丛编项:
- 南京大学材料科学与工程系列丛书
- 个人责任者:
- 李爱东 编著
- 学科主题:
- 原子-沉积-技术-高等学校-教材
- 中图法分类号:
- TB3
- 书目附注:
- 有书目
- 提要文摘附注:
- 本书是面向研究生和从事材料研发等相关行业的科研人员系统介绍原子层沉积技术原理及其应用的一本专业书籍，共13章。包括原子层沉积的发展历史、原理、前驱体、沉积材料及其理论计算与模拟等基础内容，又着重论述等离子体增强原子层沉积和分子层沉积技术等。
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