MARC状态：已编 文献类型：中文图书 浏览次数：42
- 题名/责任者:
- 硅材料科学与技术/阙端麟主编
- 出版发行项:
- 杭州:浙江大学出版社,2000
- ISBN及定价:
- 7-308-02636-1/CNY80.00
- 载体形态项:
- 556页:图;29cm
- 个人责任者:
- 阙端麟 主编
- 学科主题:
- 硅-元素半导体
- 中图法分类号:
- TN304.1
- 一般附注:
- 国家科学技术学术著作出版基金资助出版, 华夏英才基金资助出版.
- 书目附注:
- 有书目
- 提要文摘附注:
- 本书的编排是第一章有先介绍硅单晶的斗导体性质、晶体结构和其他方面的特点，正是这些特点决定了硅材料在半导体工业的地位；第二章介绍多晶硅的制备亦即硅的超提纯技术及有关的理论；第三章结合硅单晶生长的特点介绍晶体生长的基本理论和有关的基本技术等内容。
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