MARC状态：已编 文献类型：中文图书 浏览次数：44
- 题名/责任者:
- 微系统设计与制造/王喆垚编著
- 出版发行项:
- 北京:清华大学出版社,2008
- ISBN及定价:
- 978-7-302-15196-8/CNY59.00
- 载体形态项:
- XV, 648页:图;26cm
- 丛编项:
- 普通高等教育“十一五”国家级规划教材
- 丛编项:
- 清华大学信息科学技术学院教材.微电子光电子系列
- 个人责任者:
- 王喆垚 编著
- 学科主题:
- 微电子技术-高等学校-教材
- 中图法分类号:
- TN4
- 书目附注:
- 有书目
- 提要文摘附注:
- 本书讲述了微系统基本力学，微系统制造技术，微型传感器，微型执行器，射频微系统，光学微系统，生物医学微系统，流体与芯片实验室等内容。
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9楼南电信软件工程借阅室