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题名/责任者:

微系统设计导论/(德) 沃纳·卡尔·施默博格著 董瑛等译

出版发行项:

北京:清华大学出版社,2019

ISBN及定价:

978-7-302-51757-3/CNY68.50

载体形态项:

230页:图;26cm

统一题名:

Introduction to microsystem design

个人责任者:

朔姆堡 (Schomburg, Werner Kal) 著

个人次要责任者:

董瑛 译

学科主题:

微电子技术-设计

中图法分类号:

TN402

版本附注:

据原书第2版译出

出版发行附注:

本书中文简体字翻译版由德国施普林格公司授权清华大学出版社在中华人民共和国境内独家出版发行

责任者附注:

责任者规范汉译姓: 朔姆堡

书目附注:

有书目 (第227-230页)

提要文摘附注:

本书系统介绍组成微系统的基本微结构、功能单元和典型器件的设计, 包括薄层、弹性元件 (如膜片、微梁)、应变和位移的检测单元、电阻和电容的测量电路、静电驱动力、压电效应、毛细管力、微流体控制单元、微传感器、微执行器等, 并附大量的设计计算练习题。

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