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题名/责任者:

半导体材料与器件表征技术/(美) Dieter K. Schroder著 大连理工大学半导体研究室译

出版发行项:

大连:大连理工大学出版社,2008

ISBN及定价:

978-7-5611-4138-0/CNY99.80

载体形态项:

20, 542页:图;24cm

统一题名:

Semiconductor material and device characterization

个人责任者:

施罗德 (Schroder, Dieter K.) 著

个人次要责任者:

刘爱民 译

团体次要责任者:

大连理工大学 半导体研究室 译

学科主题:

半导体材料-研究

学科主题:

半导体器件-研究

中图法分类号:

TN304

中图法分类号:

TN303

版本附注:

据1998年第2版译出

责任者附注:

责任者 (Schroder) 规范汉译姓: 施罗德.

书目附注:

有书目

提要文摘附注:

本书详细介绍了现代半导体工业中半导体材料和器件的表征技术，基本上覆盖了所有的电学和光学测试方法，以及非常专业的与半导体材料相关的物理和化学测试方法。

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