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MARC状态：已编 文献类型：中文图书 浏览次数：58

题名/责任者:
微光机电系统:MOEMS/张文栋, 熊继军编著
出版发行项:
北京:机械工业出版社,2006
ISBN及定价:
7-111-19266-4/CNY28.00
载体形态项:
310页:图;24cm
丛编项:
光机电一体化技术丛书
个人责任者:
张文栋 编著
个人责任者:
熊继军 编著
学科主题:
微光技术-应用-机电系统
中图法分类号:
TH-39
书目附注:
有书目
提要文摘附注:
本书介绍了微光机电系统的国内外发展状况，微器件地结构设计与仿真，常用地微制造技术，如表面工艺、体硅工艺和LIGA工艺，封装技术等。
全部MARC细节信息>>
索书号 条码号 年卷期 馆藏地 书刊状态 定位
TH-39/1204 1389873   9楼南电信软件工程借阅室     可借 定位
TH-39/1204 1389875   9楼南电信软件工程借阅室     可借 定位
TH-39/1204 1389876   9楼南电信软件工程借阅室     可借 定位
TH-39/1204 1389877   9楼南电信软件工程借阅室     可借 定位
TH-39/1204 1389874   理科综合阅览室     保留本 定位
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