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题名/责任者:

MEMS惯性传感器技术/张志英编著

出版发行项:

西安:西安交通大学出版社,2016.12

ISBN及定价:

978-7-5605-7265-9 精装/CNY80.00

载体形态项:

16,263页;24cm

并列正题名:

MEMS inertial sensor technology

个人责任者:

张志英 (1942-) 编著

学科主题:

微电子技术-惯性传感器-研究

中图法分类号:

TP212

责任者附注:

张志英，男，1942年出生于陕西省西安市周至县。高级工程师。1962年考入西安交通大学，就读于电机工程系工业企业电气化与自动化专业。毕业后分配到国防科委第六研究院第六一八研究所工作，从事飞机自动飞行控制系统总体的研究。着重于自动飞行控制系统总体电路和机内自检测（BIT）及传感器分系统的研究。在研究所工作的三十五年中，参加了五个大课题的研究工作。

提要文摘附注:

本书从MEMS惯性传感器的基本概念出发，简单介绍了MEMS惯性传感器的术语、分类、功能及作用原理；从研发和技术服务的角度简述了MEMS惯性传感器的敏感极性和参数计算及其调整；给出了企业制造MEMS角速率陀螺的两个企业标准；介绍了一单轴较大量程MEMS硅角速率陀螺的制造工艺；介绍了MEMS惯性传感器的测试项目、测试方法及环境试验；也从性能参数出发阐述了MEMS惯性传感器的选择原则，并介绍了国内外可供选择的MEMS惯性传感器产品及其他像光纤陀螺、激光陀螺、垂直陀螺等惯性传感器产品等。

使用对象附注:

本书适用于微电子技术研究人员

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