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中文图书1.集成电路制造工艺技术体系 TN405/1028
馆藏复本:2
可借复本:2 严利人, 周卫著
科学出版社 2017
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中文图书2.微纳尺度制造工程 TN405/2090
馆藏复本:2
可借复本:1 (美) 斯蒂芬 A. 坎贝尔著
电子工业出版社 2011
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中文图书3.硅超大规模集成电路工艺技术:理论、实践与模型:fundamentals, practice and modeling TN470.5/1743
馆藏复本:3
可借复本:2 (美) James D. Plummer, Michael D. Deal, Peter B. Griffin著
电子工业出版社 2005
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