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中文图书1.MEMS与微系统:设计、制造及纳尺度工程:design, manufacture, and nanoscale engineering TM38/2852
馆藏复本:2
可借复本:2 (美) 徐泰然著
电子工业出版社 2017
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中文图书2.MEMS和微系统:设计与制造:design and manufacture TN4/0937
馆藏复本:7
可借复本:6 (美) 徐泰然著
机械工业出版社 2004
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中文图书3.微机电系统封装 TN405.94/0937
馆藏复本:5
可借复本:4 (美) Tai-Ran Hsu主编
清华大学出版社 2006
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