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中文图书1.折射衍射微光学结构的单步光刻与湿法蚀刻原理与应用 TN405.98/1203
馆藏复本:1
可借复本:1 张新宇, 谢长生著
国防工业出版社 2021
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中文图书2.等离子体蚀刻及其在大规模集成电路制造中的应用 TN405.98/1233
馆藏复本:1
可借复本:1 张海洋等编著
清华大学出版社 2018
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馆藏复本:1
可借复本:1 张新宇, 谢长生著
国防工业出版社 2021
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馆藏复本:1
可借复本:1 张海洋等编著
清华大学出版社 2018
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