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中文图书1.芯片制造:半导体工艺与设备 TN430.5/7437
馆藏复本:2
可借复本:0 陈译, 陈铖颖, 张宏怡编著
机械工业出版社 2022
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中文图书2.图解芯片制造技术 TN430.5-64/6010
馆藏复本:2
可借复本:0 吴元庆, 刘春梅, 王洋编著
化学工业出版社 2023
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中文图书3.芯片制造:半导体工艺制程实用教程:a practical guide to semiconductor processing TN405/9015
馆藏复本:5
可借复本:3 (美) Peter Van Zant著
电子工业出版社 2004
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