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• 200 1_ |a 微系统设计与制造 |A wei xi tong she ji yu zhi zao |d = Microsystem design and fabrication |f 王喆垚编著 |z eng

• 205 __ |a 第2版

• 210 __ |a 北京 |c 清华大学出版社 |d 2015

• 215 __ |a 742页 |c 图 |d 26cm

• 225 2_ |a 信息、控制与系统技术丛书 |A xin xi 、 kong zhi yu xi tong ji shu cong shu

• 320 __ |a 有书目 (第731-742页)

• 330 __ |a 本书结合微系统（MEMS）技术的基础理论、典型器件和发展趋势，介绍微系统的力学、电学和物理学基本理论，针对典型器件的分析设计方法和制造技术，以及多个前沿应用领域，力争成为具有一定深度和广度的MEMS领域的教材和实用参考书。主要内容包括： 微系统基本理论、制造技术、微型传感器、微型执行器、RF MEMS、光学MEMS、BioMEMS，以及微流体和芯片实验室。本书强调设计与制造相结合、基础与前沿相结合，在基础理论和制造技术的基础上，深入介绍多种典型和量产MEMS器件的设计和制造方法，以及重点和前沿应用研究领域的发展。

• 333 __ |a 本书可供高等院校电子、微电子、微机电系统、测控技术与仪器、精密仪器、机械工程、控制工程等专业的高年级本科生、研究生和教师使用，也可供相关领域的工程技术人员参考。

• 410 _0 |1 2001 |a 信息、控制与系统技术丛书

• 510 1_ |a Microsystem design and fabrication |z eng

• 606 0_ |a 微电子技术 |A wei dian zi ji shu |x 高等学校 |j 教材

• 690 __ |a TN4 |v 5

• 701 _0 |a 王喆垚 |A wang zhe yao |4 编著

• 801 _0 |a CN |b NJU |c 20151027

• 905 __ |a SCNU |f TN4/1044/ -2

• 920 __ |a 242430 |z 1