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• 200 1_ |a 实用集成电路工艺手册 |A shi yong ji cheng dian lu gong yi shou ce |f 沈文正等编

• 210 __ |a 北京 |c 宇航出版社 |d 1989

• 215 __ |a 423页 |d 26cm

• 517 1_ |a 集成电路工艺手册 |A ji cheng dian lu gong yi shou ce

• 606 0_ |a 集成电路 |A ji cheng dian lu |x 工艺 |j 手册

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• 701 _0 |a 沈文正 |A shen wen zheng |4 编

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