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• 200 1_ |a 聚合物微纳制造技术 |A ju he wu wei na zhi zao ji shu |d = Polymer micro-nanofabrication technology |f 王立鼎 ... [等] 编著 |z eng

• 210 __ |a 北京 |c 国防工业出版社 |d 2012

• 215 __ |a xxi, 208页 |c 图 |d 24cm

• 225 2_ |a 微米纳米技术丛书 |A wei mi na mi ji shu cong shu |i MEMS与微系统系列

• 300 __ |a “十二五”国家重点图书出版规划项目

• 320 __ |a 有书目

• 330 __ |a 本书主要内容包括: 绪论 ; 聚合物材料结构特征与性能 ; 微注塑成型 ; 微热压成型 ; 软刻蚀方法 ; 高能束微纳刻蚀 ; 聚合物微纳器件封合与集成等。

• 410 _0 |1 2001 |a 微米纳米技术丛书 |i MEMS与微系统系列

• 510 1_ |a Polymer micro-nanofabrication technology |z eng

• 606 0_ |a 微电子技术 |A wei dian zi ji shu |x 生产工艺

• 690 __ |a TN405 |v 5

• 701 _0 |a 王立鼎 |A wang li ding |4 编著

• 801 _0 |a CN |b 人天书店 |c 20130319

• 905 __ |a SCNU |f TN405/1002

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