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• 200 1_ |a 用于恶劣环境的碳化硅微机电系统 |A yong yu e lie huan jing de tan hua gui wei ji dian ji tong |f Rebecca Cheung著 |g 王晓浩, 唐飞, 王文弢译

• 210 __ |a 北京 |c 科学出版社 |d 2010

• 215 __ |a 121页 |c 图 |d 24cm

• 225 2_ |a 微纳技术著作丛书 |A wei na ji shu zhu zuo cong shu

• 320 __ |a 有书目

• 330 __ |a 本书系统论述碳化硅生长、加工、接触、腐蚀和应用等环节的技术和现状，汇聚了作者大量的经验和智慧。

• 410 _0 |1 2001 |a 微纳技术著作丛书

• 606 0_ |a 半导体材料 |A ban dao ti cai liao |x 微电子技术 |x 研究

• 690 __ |a TN304 |v 4

• 690 __ |a TN4 |v 4

• 701 _0 |a 张 |A zhang |g (Cheung, Rebecca) |4 著

• 702 _0 |a 王晓浩 |A wang xiao hao |4 译

• 702 _0 |a 唐飞 |A tang fei |4 译

• 702 _0 |a 王文弢 |A wang wen tao |4 译

• 801 _0 |a CN |b DUTL |c 20100428

• 801 _2 |a CN |b SCNU |c 20100909

• 905 __ |a SCNU |f TN304/2070

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