机读格式显示(MARC)
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- 099 __ |a CAL 012007140686
- 100 __ |a 20071113d2007 ekmy0chiy50 ea
- 200 1_ |a 微机电系统基础 |A wei ji dian xi tong ji chu |d = Foundations of mems |f (美) Chang Liu著 |g 黄庆安译 |z eng
- 210 __ |a 北京 |c 机械工业出版社 |d 2007
- 215 __ |a xi, 365页 |c 图 |d 26cm
- 225 2_ |a 电子与电气工程丛书 |A dian zi yu dian qi gong cheng cong shu
- 330 __ |a 本书主要介绍了微制造导论、电学与机械学基本概念、静电敏感与执行原理、热敏感与执行原理、敏感与执行原理总结等。
- 410 _0 |1 2001 |a 电子与电气工程丛书
- 500 10 |a Foundations of mems |m Chinese
- 606 0_ |a 微电机 |A wei dian ji |j 教材
- 701 _0 |a 刘昶 |A liu chang |g (Liu, Chang) |4 著
- 702 _0 |a 黄庆安 |A huang qing an |4 译
- 801 _0 |a CN |b HPUL |c 20071113
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