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- 200 1_ |a 半导体工艺原理 |A ban dao ti gong yi yuan li |f 谢孟贤, 刘国维编
- 210 __ |a 北京 |c 国防工业出版社 |d 1980
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- 606 0_ |a 半导体工艺 |A ban dao ti gong yi |x 理论
- 701 _0 |a 谢孟贤 |A xie meng xian |4 编
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