机读格式显示(MARC)

• 000 01304nam0 2200349 450

• 001 0000143047

• 010 __ |a 7-111-13226-2 |d CNY38.00

• 099 __ |a CAL 012004008468

• 100 __ |a 20040212d2004 em y0chiy0121 ea

• 101 1_ |a chi |c eng

• 102 __ |a CN |b 110000

• 105 __ |a ak a 000yy

• 106 __ |a r

• 200 1_ |a MEMS和微系统 |A MEMS he wei xi tong |e 设计与制造 |f (美) 徐泰然著 |d = MEMS & microsystems |e design and manufacture |f Tai-Ran Hsu |g 王晓浩 ... [等] 译 |z eng

• 210 __ |a 北京 |c 机械工业出版社 |d 2004

• 215 __ |a 402页 |c 图 |d 24cm

• 306 __ |a 据美国McGraw-Hill Companies, Inc. 2002年英文版译出; 由机械工业出版社和美国麦格劳-希尔教育(亚洲)出版公司合作出版.

• 320 __ |a 有书目 (第394-402页)

• 510 1_ |a MEMS & microsystems |e design and manufacture |z eng

• 532 10 |a Microelectromechanical system和微系统 |A microelectromechanical system he wei xi tong

• 606 0_ |a 微电子技术 |A wei dian zi ji shu |x 应用 |x 机械系统

• 690 __ |a TN4 |v 4

• 701 _1 |a 徐泰然, |A xu tai ran |b T. R. |g (Hsu, Tai-Ran) |4 著

• 702 _0 |a 王晓浩 |A wang xiao hao |4 译

• 801 _0 |a CN |b BUPT |c 20040212

• 801 _2 |a CN |b SCNU |c 20040608

• 905 __ |a SCNU |f TN4/0937

• 998 __ |a BUPT

• 999 __ |M zhshl |m 20040608 14:21:14 |G gly |g 20040608 15:10:14

• 000 0000178905

• 991 __ |a 012004008251

• 907 __ |a SCNU |f TN4/0937