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• 000 01702nam 2200325 450

• 001 0000604473

• 005 20170512104800.0

• 010 __ |a 978-7-03-051330-4 |b 精装 |d CNY128.00

• 099 __ |a CAL 012017018732

• 100 __ |a 20170303d2016 em y0chiy50 ea

• 101 0_ |a chi

• 102 __ |a CN |b 110000

• 105 __ |a ak a 000yy

• 106 __ |a r

• 200 1_ |a 微电子机械微波通讯信号检测集成系统 |A wei dian zi ji xie wei bo tong xun xin hao jian ce ji cheng xi tong |f 廖小平 ... [等] 著

• 210 __ |a 北京 |c 科学出版社 |d 2016

• 215 __ |a xi, 294页 |c 图 |d 25cm

• 225 2_ |a 半导体科学与技术丛书 |A ban dao ti ke xue yu ji shu cong shu

• 304 __ |a 题名页题: 廖小平, 张志强, 易真翔, 闫浩著

• 320 __ |a 有书目

• 330 __ |a 共分为12章，从第1章共性的设计理论和实现方法出发，对MEMS微波器件进行了一系列设计、实验和系统级S参数模型的研究。这些器件包括：第2章的一分为二微波功分器，第3章的间接加热热电式功率传感器，第4章的直接加热热电式功率传感器，第5章的电容式功率传感器，第6章的电容式和热电式级联功率传感器，以及集成MEMS系统，第7章的在线电容耦合式微波功率检测器，第8章的在线定向耦合式毫米波功率检测器，第9章微波相位检测器和第10章微波频率检测器，第11章分别对微波功率、相位和频率检测器进行了封装研究；最后，第12章进行了总结和展望。由于集成的MEMS相位检测器和集成的MEMS频率检测器研究都是基于MEMS微波功率传感器技术，因此，本书用较大篇幅来诠释MEMS微波功率传感器及其集成的微波功率检测器的研究。

• 410 _0 |1 2001 |a 半导体科学与技术丛书

• 606 0_ |a 微电子元件 |A wei dian zi yuan jian |x 信号检测

• 690 __ |a TN4 |v 5

• 701 _0 |a 廖小平 |A liao xiao ping |4 著

• 701 _0 |a 张志强 |A zhang zhi qiang |4 著

• 701 _0 |a 易真翔 |A yi zhen xiang |4 著

• 801 _0 |a CN |b NMU |c 20170303

• 905 __ |a SCNU |f TN4/0091

• 920 __ |a 242430 |z 1