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• 200 1_ |a 等离子体表面工程 |A deng li zi ti biao mian gong cheng |f 杨烈宇主编

• 210 __ |a 北京 |c 中国科学技术出版社 |d 1991

• 215 __ |a 272页 |d 26cm

• 225 2_ |a 等离子体表面工程译丛 |A deng li zi ti biao mian gong cheng yi cong

• 330 __ |a 本书内容包括等离子体技术的理论、PVD技术等和等离子体技术在摩擦领域、微电子学方面的应用及等离子体技术在测试和表面分析方面的应用。

• 410 _0 |1 2001 |a 等离子体表面工程译丛

• 606 0_ |a 等离子体应用 |A deng li zi ti ying yong |x 金属表面处理

• 690 __ |a TG15 |v 3

• 690 __ |a TG17 |v 3

• 701 _0 |a 杨烈宇, |A yang lie yu |f 1918-1993 |4 主编

• 801 _0 |a CN |b DUTL |c 19920115

• 905 __ |a SCNU |f TG15/4713

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