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• 200 1_ |a 半导体集成电路制造技术 |A ban dao ti ji cheng dian lu zhi zao ji shu |d = Microfabrication technology of semiconductor integrated circuits |f 张亚非等编著 |z eng

• 210 __ |a 北京 |c 高等教育出版社 |d 2006

• 215 __ |a iv, 390页 |c 图, 肖像 |d 24cm

• 225 2_ |a 长江学者论丛 |A chang jiang xue zhe lun cong

• 300 __ |a “长江学者”学术著作出版资助项目.

• 320 __ |a 有书目

• 410 _0 |1 2001 |a 长江学者论丛

• 510 1_ |a Microfabrication technology of semiconductor integrated circuits |z eng

• 606 0_ |a 半导体集成电路 |A ban dao ti ji cheng dian lu |x 集成电路工艺 |x 高等学校 |j 教材

• 690 __ |a TN430.5 |v 4

• 701 _0 |a 张亚非 |A zhang ya fei |4 编著

• 801 _0 |a CN |b NMU |c 20060626

• 801 _2 |a CN |b SCNU |c 20061024

• 905 __ |a SCNU |f TN430.5/1211

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