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• 010 __ |a 978-7-121-11018-4 |b 精装 |d CNY89.00

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• 102 __ |a CN |b 110000

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• 106 __ |a r

• 200 1_ |a 微纳加工科学原理 |A wei na jia gong ke xue yuan li |d = The science of micro-and nano-fabrication |f 唐天同, 王兆宏著 |z eng

• 210 __ |a 北京 |c 电子工业出版社 |d 2010

• 215 __ |a x, 525页 |c 图 |d 27cm

• 225 2_ |a 信息科学与工程系列专著 |A xin xi ke xue yu gong cheng xi lie zhuan zhu

• 300 __ |a 国家科学技术学术著作出版基金 电子信息科技专著出版专项资金资助出版

• 320 __ |a 有书目

• 330 __ |a 本书内容包括: 光子、电子、离子和等离子体及其作用, 常用的衬底与薄膜材料, 微细图形技术, 薄膜淀积、蚀刻、外延生长、氧化、扩散和离子注入的过程和方法等。

• 410 _0 |1 2001 |a 信息科学与工程系列专著

• 510 1_ |a Science of micro-and nano-fabrication |z eng

• 606 0_ |a 纳米材料 |A na mi cai liao |x 新技术应用

• 690 __ |a TB383 |v 4

• 701 _0 |a 唐天同, |A tang tian tong |f 1938- |4 著

• 701 _0 |a 王兆宏, |A wang zhao hong |f 1976- |4 著

• 801 _0 |a CN |b SCNU |c 20101020

• 905 __ |a SCNU |f TB383/0017

• 999 __ |M luol |m 20101020 14:46:01 |G luol |g 20101020 14:46:02

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