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• 000 00793nam a2200241 a 4500

• 001 0000588068

• 003 SCNU

• 005 20170301093500.0

• 008 160823s2016 cc a b 000 0 eng d

• 020 __ |a 9787512421097

• 040 __ |a BUA |c BUA

• 093 __ |a TN4 |2 5

• 099 __ |a CAL 022016057450

• 100 1_ |a Guo, Zhanshe |9 (郭占社)

• 245 10 |a Design, fabrication and CAD for MEMS devices / |c Guo Zhanshe = 微机电器件设计、制造及计算机辅助设计 / 郭占社.

• 246 31 |a 微机电器件设计、制造及计算机辅助设计

• 260 __ |a 北京 : |b 北京航空航天大学出版社, |c 2016.

• 300 __ |a 2, 4, 272 p. : |b ill. ; |c 23 cm.

• 490 0_ |a 北京航空航天大学"研究生英文教材"系列丛书

• 504 __ |a Includes bibliographical references.

• 650 _0 |a Microelectromechanical systems.

• 920 __ |a 242430 |z 2

• 950 __ |a SCNU |f TN4/G977