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• 010 __ |a 978-7-118-10053-2 |d CNY98.00

• 099 __ |a CAL 012015103925

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• 200 1_ |a 微机电耦合动力学 |A wei ji dian ou he dong li xue |d = Coupled dynamics of MEMS |f 许立忠, 孙丽波著 |z eng

• 210 __ |a 北京 |c 国防工业出版社 |d 2015

• 215 __ |a XX, 303页, 32页图版 |c 图 (部分彩图) |d 24cm

• 225 2_ |a 微米纳米技术丛书 |A wei mi na mi ji shu cong shu |i MEMS与微系统系列

• 300 __ |a 国防科技图书出版基金 “十二五”国家重点图书出版规划项目

• 320 __ |a 有书目 (第300-303页)

• 330 __ |a 本书主要包括：绪论，微梁机电耦合振动，微梁机电耦合非线性动力学，微梁机电流体耦合自由振动，微梁机电流体耦合受迫振动等内容。

• 333 __ |a 可供高等院校微电子、机电一体化等专业的师生阅读，也可作为从事微机电系统工程设计开发的研究生和科研技术人员参考

• 410 _0 |1 2001 |a 微米纳米技术丛书 |i MEMS与微系统系列

• 510 1_ |a Coupled dynamics of MEMS |z eng

• 606 0_ |a 微电子技术 |A wei dian zi ji shu

• 690 __ |a TN4 |v 5

• 690 __ |a TM |v 5

• 701 _0 |a 许立忠 |A xu li zhong |4 著

• 701 _0 |a 孙丽波 |A sun li bo |4 著

• 801 _0 |a CN |b WHUTL |c 20150916

• 801 _2 |a CN |b TSU |c 20150917

• 905 __ |a SCNU |f TN4/3805

• 920 __ |a 242430 |z 1