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• 005 20081024114852.0

• 010 __ |a 978-7-5641-0784-0 |d CNY78.00

• 099 __ |a CAL 012007107569

• 100 __ |a 20070918d2007 em y0chiy50 ea

• 101 1_ |a chi |c eng

• 102 __ |a CN |b 320000

• 105 __ |a a a 000yy

• 106 __ |a r

• 200 1_ |a CMOS MEMS技术与应用 |A CMOS MEMS ji shu yu ying yong |f (美) O. Brand, G. K. Fedder著 |g 黄庆安, 秦明译

• 210 __ |a 南京 |c 东南大学出版社 |d 2007

• 215 __ |a 500页 |c 图 |d 24cm

• 225 2_ |a 微纳系统系列译丛 |A wei na xi tong xi lie yi cong

• 305 __ |a 据Wiley-VCH 2005年英文版译出

• 312 __ |a 英文题名取自封面

• 314 __ |a 责任者 (Brand) 规范汉译姓: 布兰德; 责任者 (Fedder) 规范汉译姓: 费德.

• 320 __ |a 有书目

• 330 __ |a 本书主要介绍了制造工艺、材料表征、单片集成惯性传感器、CMOS MEMS声学器件、CMOS RF MEMS、CMOS压力传感器、CMOS化学传感器等。

• 333 __ |a 适合微电子技术、微机电系统技术等相关领域的高年级本科生.

• 410 _0 |1 2001 |a 微纳系统系列译丛

• 500 10 |a CMOS-MEMS |m Chinese

• 606 0_ |a 互补MOS集成电路 |A hu buM OS ji cheng dian lu |x 微电机 |x 电路设计

• 690 __ |a TN432 |v 4

• 701 _1 |a 布兰德 |A bu lan de |g (Brand, Oliver) |4 著

• 701 _1 |a 费德 |A fei de |g (Fedder, Gary K.) |4 著

• 702 _0 |a 黄庆安 |A huang qing an |4 译

• 702 _0 |a 秦明 |A qin ming |4 译

• 801 _0 |a CN |b HPUL |c 20070919

• 801 _2 |a CN |b SJT |c 20080225

• 801 _2 |a CN |b PUL |c 20080506

• 801 _2 |a CN |b SCNU |c 20081024

• 905 __ |a SCNU |f TN432/1700

• 998 __ |a HBG

• 999 __ |M xfm |m 20081024 11:48:52 |G xfm |g 20081024 11:48:56

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• 991 __ |a 012008015307

• 907 __ |a SCNU |f TN432/1700