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• 000 01147nam0 2200253 450

• 001 0000834811

• 005 20240927135024.0

• 010 __ |a 978-7-122-45124-8 |b 精装 |d CNY158.00

• 100 __ |a 20240423d2024 em y0chiy50 ea

• 101 0_ |a chi

• 102 __ |a CN |b 110000

• 105 __ |a ak a 000yy

• 106 __ |a r

• 200 1_ |a 原子层沉积制造技术及生物传感应用 |f 刘磊著 |d =Atomic layer deposition manufacturing technology and biosensing applications

• 210 __ |a 北京 |c 化学工业出版社 |d 2024-03-01

• 215 __ |a 224页 |d 25cm

• 320 __ |a 有书目

• 330 __ |a 本书系统介绍了原子层沉积技术原理及生物传感应用，共分7章，主要内容包括原子层沉积 (ALD) 技术的基本原理、特点、系统和工作模式，聚焦于ALD技术的拓展，涉及了ALD在摩擦、电磁、噪声、量子和生物传感器领域的应用，重点介绍该技术在生物医学检测领域的前沿发展，在阐明ALD技术基本原理的同时，介绍其在前沿领域的先进性和实际应用。

• 333 __ |a 微纳制造与传感检测等领域的技术工作者，高等院校相关专业师生

• 510 1_ |a Atomic layer deposition manufacturing technology and biosensing applications

• 606 0_ |a 纳米技术@x应用@x生物传感器@x研究

• 690 __ |a TB303/TP212.3

• 701 _0 |a 刘磊

• 801 _0 |a CN |b 百万庄 |c 20240423