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• 005 20130416163800.0

• 010 __ |a 978-7-121-18805-3 |d CNY55.00

• 099 __ |a CAL 012013003020

• 100 __ |a 20130105d2012 em y0chiy50 ea

• 101 1_ |a chi |c eng

• 102 __ |a CN |b 110000

• 105 __ |a ak a 001yy

• 106 __ |a r

• 200 1_ |a MEMS可靠性 |A MEMS ke kao xing |d = MEMS reliability |f (美) Allyson L. Hartzell, Mark G. da Silva, (瑞士) Herbert R. Shea著 |g 恩云飞, 贾玉斌, 黄钦文译 |z eng

• 210 __ |a 北京 |c 电子工业出版社 |d 2012

• 215 __ |a 220页 |c 图 |d 26cm

• 225 2_ |a 国外电子与通信教材系列 |A guo wai dian zi yu tong xin jiao cai xi lie

• 305 __ |a 据Springer Science + Business Media, 2011年英文版译出

• 320 __ |a 有书目和索引

• 330 __ |a 本书是关于MEMS可靠性的一本专著，主要内容包括：用于寿命预测的可靠性统计理论，MEMS产品设计阶段和制造阶段的失效模式，MEMS在使用中的失效模式，MEMS的失效根源及分析，MEMS的试验和鉴定标准，以及提升MEMS可靠性的工具和技术。本书的几位作者在MEMS可靠性方面拥有多年的学术研究经验和工业生产经验，内容具有较高的参考价值。

• 410 _0 |1 2001 |a 国外电子与通信教材系列

• 500 10 |a MEMS reliability |m Chinese

• 606 0_ |a 微电子技术 |A wei dian zi ji shu |x 可靠性 |x 高等学校 |j 教材

• 690 __ |a TM38 |v 5

• 701 _1 |a 哈策尔 |A ha ce er |g (Hartzell, Allyson L.) |4 著

• 701 _1 |a 席尔瓦 |A xi er wa |g (Silva, Mark G.) |4 著

• 701 _1 |a 谢伊 |A xie yi |g (Shea, Herbert R.) |4 著

• 702 _0 |a 恩云飞 |A en yun fei |4 译

• 702 _0 |a 贾玉斌 |A jia yu bin |4 译

• 702 _0 |a 黄钦文 |A huang qin wen |4 译

• 801 _0 |a CN |b TL |c 20130104

• 905 __ |a SCNU |f TM38/0007

• 920 __ |a 242430 |z 1