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• 010 __ |a 978-7-5641-1575-3 |d CNY50.00

• 099 __ |a CAL 012009065131

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• 101 1_ |a chi |c eng

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• 106 __ |a r

• 200 1_ |a MEMS可靠性 |A MEMSke kao xing |d = Reliability of MEMS |f (日) O. Tabata, T. Tsuchiya著 |g 宋竞 ... [等] 译 |z eng

• 210 __ |a 南京 |c 东南大学出版社 |d 2009

• 215 __ |a 247页 |c 图 |d 24cm

• 225 2_ |a 微纳系统系列译丛 |A wei na xi tong xi lie yi cong

• 304 __ |a 题名页题: 宋竞, 尚金堂, 唐洁影, 黄庆安译.

• 306 __ |a 本书中文简体字翻译版由WILEY-VCH授权东南大学出版社独家出版发行

• 314 __ |a 责任者 (O. Tabata) 规范汉译名: 田畑修; 责任者 (T. Tsuchiya) 规范汉译名: 土屋智由.

• 320 __ |a 有书目

• 330 __ |a 本书共分为两部分。第一部分论述MEMS材料的可靠性内容及主要表征方法, 包括MEMS材料的可靠性, 微纳压痕仪等; 第二部分论述MEMS器件的可靠性。

• 333 __ |a 适合于微机电系统、微电子、光电子、传感器、通讯技术领域的高年级大学生、研究生和工程技术人员参考

• 410 _0 |1 2001 |a 微纳系统系列译丛

• 500 10 |a Reliability of MEMS |m Chinese

• 606 0_ |a 微机电 |A wei ji dian |x 可靠性

• 690 __ |a TM38 |v 4

• 701 _0 |a 田畑修 |A tian tian xiu |g (Tabata, O.) |4 著

• 701 _0 |a 土屋智由 |A tu wu zhi you |g (Tsuchiya, T.) |4 著

• 702 _0 |a 宋竞 |A song jing |4 译

• 702 _0 |a 尚金堂 |A shang jin tang |4 译

• 702 _0 |a 唐洁影 |A tang jie ying |4 译

• 801 _0 |a CN |b CSU |c 20090512

• 801 _2 |a CN |b SCNU |c 20091109

• 905 __ |a SCNU |f TM38/3000

• 999 __ |M jiangy |m 20091109 15:31:03 |G jiangy |g 20091109 15:31:38

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• 907 __ |a SCNU |f TM38/3000