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• 010 __ |a 978-7-308-06617-4 |d CNY36.00

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• 200 1_ |a 半导体薄膜技术与物理 |A ban dao ti bo mo ji shu yu wu li |d = Physics and technology of semiconductor thin films |f 叶志镇 ... [等] 编著 |z eng

• 210 __ |a 杭州 |c 浙江大学出版社 |d 2008

• 215 __ |a 278页 |c 图, 肖像 |d 24cm

• 304 __ |a 题名页题: 叶志镇, 吕建国, 吕斌, 张银珠编著.

• 320 __ |a 有书目

• 330 __ |a 本书全面系统地介绍了半导体薄膜的各种制备技术及其相关的物理基础。全书共分十章。第一章概述了真空技术，第二至八章分别介绍了蒸发、化学气相沉积、液相外延等。

• 333 __ |a 高等院校材料、物理、电子、化学等学科的研究生或高年级本科生的半导体薄膜技术课程的教材

• 510 1_ |a Physics and technology of semiconductor thin films |z eng

• 606 0_ |a 半导体薄膜技术 |A ban dao ti bo mo ji shu

• 690 __ |a TN304.055 |v 4

• 701 _0 |a 叶志镇, |A ye zhi zhen |f 1955- |4 编著

• 701 _0 |a 吕建国 |A lv jian guo |4 编著

• 701 _0 |a 吕斌 |A lv bin |4 编著

• 801 _0 |a CN |b HPUL |c 20090507

• 801 _2 |a CN |b PUL |c 20090616

• 801 _2 |a CN |b SCNU |c 20091110

• 905 __ |a SCNU |f TN304.055/6448

• 999 __ |M yinj |m 20091110 09:24:38 |G yinj |g 20091110 09:25:32

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